一种光学检测系统及方法
基本信息
| 申请号 | CN202110693191.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113466179A | 公开（公告）日 | 2021-10-01 |
| 申请公布号 | CN113466179A | 申请公布日 | 2021-10-01 |
| 分类号 | G01N21/47（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 杨琦;许一力 | 申请（专利权）人 | 杭州谱析光晶半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京知呱呱知识产权代理有限公司 | 代理人 | 孙志一 |
| 地址 | 311200浙江省杭州市萧山区瓜沥镇梅仙村盈钱路梅仙段13号1幢417（自行分割） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请实施例公开了一种光学检测系统及方法，通过激发光模块用于产生激发光束并将所述激发光束导向待检测样品；光场重构模块用于收集散射光，并根据目标属性进行散射光重构，将重构后的光场导向光信号检测模块，所述目标属性包括目标偏振态、目标相位和目标振幅；所述光信号探测模块，用于接收所述光场重构模块发送的各检测频率或子频段的光信号并转换成电信号；信号收集处理模块，用于收集所述光信号探测模块发送的电信号，根据所述电信号的属性确定所述待检测样品表面的物理成分信息和/或化学成分信息。通过对收集的波长、相位、振幅、偏折方向的光学信号进一步处理，可以获得待检测样品表层物理成分、微观形貌等物理与化学成分信息。 |
