适用于半导体低温变温磁电性能的测试系统及测试方法
基本信息
| 申请号 | CN202110692564.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113419157A | 公开（公告）日 | 2021-09-21 |
| 申请公布号 | CN113419157A | 申请公布日 | 2021-09-21 |
| 分类号 | G01R31/26（2014.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 郑律;张群力;孟庆党;沈寿珍;俞振中 | 申请（专利权）人 | 浙江森尼克半导体有限公司 |
| 代理机构 | 南京乐羽知行专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 孙承尧 |
| 地址 | 311200浙江省杭州市萧山区杭州湾信息港C座507 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请提供一种适用于半导体低温变温磁电性能的测试系统，包括：柜体，形成有一个柜内空间，试样罐体，形成有一个罐体空间；磁性元件，使罐体空间具有预设磁场；冷源装置，形成有一个用于容纳冷源介质的冷源空间；介质导管，使罐体空间和冷源空间连通；升降立柱，设置于柜体上方；升降滑台，能沿第一方向相对升降立柱滑动；试样夹板，相对升降滑台转动；其中，罐体空间顶部设有罐体开口，柜体设有柜体开口以使罐体开口露出柜体；升降滑台滑动到预设位置时试样夹板容纳在罐体空间中存在预设磁场的区域。本申请的有益之处在于提供一种结构合理可靠并且降温方案较为安全的适用于半导体低温变温磁电性能的测试系统及测试方法。 |
