一种薄膜集成天线及其制作方法
基本信息
| 申请号 | CN00109333.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN1142615C | 公开（公告）日 | 2004-03-17 |
| 申请公布号 | CN1142615C | 申请公布日 | 2004-03-17 |
| 分类号 | H01Q1/38;H05K3/10 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 邱宏;张翼;任玉荣 | 申请（专利权）人 | 北京科大天宇微电子材料技术开发有限公司 |
| 代理机构 | 北京科大华谊专利代理事务所 | 代理人 | 刘月娥 |
| 地址 | 100083北京市海淀区学院路30号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种薄膜集成天线及其采用了镀膜技术和半导体集成电路技术制作该薄膜集成天线的方法。薄膜集成天线由基板(1，2)及在在基板上生成由金属薄膜(3)和铁电体薄膜(5)相互交替而构成的3-50层复合薄膜组成，制作方法由选择基板、在基板上镀金属薄膜、在基板上生成金属薄膜/铁电体薄膜双层膜及多层膜，成型工艺组成。本发明的优点在于金属薄膜集成天线可取代块状金属天线，减少了天线制作工艺过程中的材料耗损，提高了材料的使用效率。 |
