一种用于氢燃料电池金属双极板的超低电阻耐腐蚀涂层的制备工艺
基本信息
| 申请号 | CN202010819189.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112111716A | 公开（公告）日 | 2020-12-22 |
| 申请公布号 | CN112111716A | 申请公布日 | 2020-12-22 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 不公告发明人 | 申请（专利权）人 | 昆山市恒鼎新材料有限公司 |
| 代理机构 | 苏州智品专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 昆山市恒鼎新材料有限公司 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市昆山市千灯镇华涛路108号3号房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种用于氢燃料电池金属双极板的超低电阻耐腐蚀涂层的制备工艺，包含以下步骤：将金属双极板清洗后放入烤箱内烘烤；将烘烤后的金属双极板放入真空炉中，真空加热烘干；向真空炉内通入氩气，使其内真空度为0.5‑2.5Pa，射频离子源靶源采用C靶，对金属双极板进行离子清洗30‑60min；关闭氩气、工件偏压、离子源和靶源，将真空炉抽真空至真空度为(1.0‑8.0)*10‑3Pa；向真空炉内通入氩气，采用等离子体增强真空平面磁控溅射法，依次为金属双极板镀上Ti基层、TiN过渡层和非晶碳膜层。本发明的制备工艺，把耐腐蚀层和导电层依次沉积在金属双极板上，降低其表面接触电阻，提高其耐腐蚀性。 |
