一种金属件表面PVD镀透明绝缘膜工艺
基本信息
| 申请号 | CN202010818319.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111962025A | 公开（公告）日 | 2020-11-20 |
| 申请公布号 | CN111962025A | 申请公布日 | 2020-11-20 |
| 分类号 | C23C14/16;C23C14/10;C23C14/08;C23C14/35 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 不公告发明人 | 申请（专利权）人 | 昆山市恒鼎新材料有限公司 |
| 代理机构 | 苏州智品专利代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 昆山市恒鼎新材料有限公司 |
| 地址 | 215000 江苏省苏州市昆山市千灯镇华涛路108号3号房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种金属件表面PVD镀透明绝缘膜工艺，包含以下步骤：将镀有颜色层的金属件清洗后放入真空炉中，真空加热烘干；对该金属件进行离子清洗；关闭氩气和工件偏压，控制真空炉内真空度，使其内真空度维持在10‑1Pa数量级的动态平衡压强；控制真空炉内温度为100‑300℃，采用真空平面磁控溅射法依次为金属件镀上Si/Al过渡层和氧化硅/氧化铝透明绝缘层。本发明的一种金属件表面PVD镀透明绝缘膜工艺，采用物理气相沉积的原理，以真空平面磁控溅射法，在原有镀色金属件的外部镀上透明绝缘层，使金属件表面即能满足表面绝缘，又能满足金属件不同颜色的使用需求；且其工艺流程简单，环保，成本低。 |
