一种3C铝制件表面处理的PVD真空镀膜工艺
基本信息
| 申请号 | CN201911133009.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112899625A | 公开（公告）日 | 2021-06-04 |
| 申请公布号 | CN112899625A | 申请公布日 | 2021-06-04 |
| 分类号 | C23C14/35;C23C14/16;C23C14/06 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 不公告发明人 | 申请（专利权）人 | 昆山市恒鼎新材料有限公司 |
| 代理机构 | 苏州智品专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王利斌 |
| 地址 | 215000 江苏省苏州市昆山市千灯镇华涛路108号3号房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种3C铝制件表面处理的PVD真空镀膜工艺，包含以下步骤：将铝制件清洗后放入真空室内加热烘干，随后向真空室内通入氩气，对铝制件进行离子清洗；离子清洗后，关闭氩气、辅助偏压，调整真空室的真空度；向真空室内通入氩气使真空度维持在10‑1Pa数量级的动态平衡压强；依次为铝制件镀上Cr基层镀层、CrN第一过渡层、CrSiN第二过渡层和Cr第三过渡层；完成铝制件表面处理，此时铝制件的颜色为银色；换真空室，采用中频电源作为溅射电源，以多弧离子镀或真空平面磁控溅射镀工艺为铝制件镀上颜色层。本发明采用物理气相沉积原理对铝制件表面处理，该工艺过制程短，生产无污染，环保安全，且能耗水耗低，良品率高。 |
