制备泡沫导电膜的卷绕式真空镀膜机

基本信息

申请号 CN01225155.0 申请日 -
公开(公告)号 CN2487742Y 公开(公告)日 2002-04-24
申请公布号 CN2487742Y 申请公布日 2002-04-24
分类号 C23C14/34;C23C14/56 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 胡显奇;盛钢;夏登峰 申请(专利权)人 深圳市电元新材料科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 518053广东省深圳市华侨城东部工业区E5栋5楼
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型制备泡沫导电膜的卷绕式真空镀膜机,属于用作制造氢镍电池等电极基板泡沫镍中对有机泡沫进行导电化处理的真空镀膜设备。该机的主要特征是真空箱体呈“回”字形结构;镀膜室的两侧分别装有一组磁控溅射靶,可以同时双面均匀地制备出连续带状泡沫的导电膜,且膜层细密;以此作电镀用阴极制得的泡沫镍,具有较强的抗拉强度和较小的内电阻。该机还可以实现电池电极基板其它卷材的磁控溅射镀膜。