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一种像元级多光谱滤光片的制备方法

基本信息

申请号 CN201910962992.9 申请日 -
公开（公告）号 CN110703375B 公开（公告）日 2020-01-17
申请公布号 CN110703375B 申请公布日 2020-01-17
分类号 G02B5/20(2006.01)I;G02B5/28(2006.01)I 分类 光学;
发明人 杨海贵;张建;王笑夷;杨飞;张卓;高劲松 申请（专利权）人 长春长光辰谱科技有限公司
代理机构 深圳市科进知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 曹卫良
地址 130033吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种像元级多光谱滤光片的制备方法，包括：在基底上沉积具有良好光谱通带特性的较厚宽带通滤光膜堆；在带通滤光膜堆上制备图形化的金属薄膜；在图形化的金属薄膜上干法刻蚀带滤光膜堆，制备出一个陡峭的台阶状光谱通道单元；重复以上步骤制备出其它数个光谱通道单元；最后去掉所有光谱通道单元上的金属膜。本发明提供的像元级多光谱滤光片的制备方法，可以形成厚度为5‑15微米较厚阵列式周期性排列的带通滤光膜堆，有利于提高像元级多光谱滤光片光谱通道的通带特性，利用了图形化的金属薄膜作为掩膜层和刻蚀停止层，阻止已形成的光谱通道单元免于刻蚀，降低制备过程中的阴影遮蔽效应以保证通道单元外形尺寸完整性。