一种应用于泡生法蓝宝石单晶生长的轴向温度梯度可调的保温结构专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种应用于泡生法蓝宝石单晶生长的轴向温度梯度可调的保温结构

基本信息

申请号	CN201310300332.7	申请日	-
公开（公告）号	CN103352247B	公开（公告）日	2016-06-29
申请公布号	CN103352247B	申请公布日	2016-06-29
分类号	C30B17/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I	分类	晶体生长〔3〕;
发明人	王庆国;钱兵;朱烨;汪红卫;鞠星;李倩	申请（专利权）人	江西东海蓝玉光电科技有限公司
代理机构	苏州睿昊知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	伍见
地址	225300 江苏省泰州市高港区高港科技园创业大道北侧
法律状态	-

摘要

本发明提供了一种应用于泡生法蓝宝石单晶生长的轴向温度梯度可调的保温结构，设置于不锈钢桶内，采用以钨或钼为材料的金属薄板作热屏，热屏包括水平式热屏，倾斜式热屏和垂直式热屏；各屏之间缝隙用钼条垂直间隔支撑；不锈钢桶与垂直式热屏之间通过钼片间隔有用于填充空心泡壳的内层填充区和外层填充区，所述内层填充区填充有ZrO₂空心泡壳，且内层填充区填充满；上述外层填充区填充的空心泡壳为ZrO₂空心泡壳或Al₂O₃空心泡壳。本发明通过调节外层填充区高度来调节炉内轴向的温度梯度分布，调节生长晶体的回熔区位置和范围，使晶体表面温度分布更加平缓，降低了由于热应力过高而导致晶体开裂的概率，从而促进晶体生长过程中凸的液固界面的形成，提高晶体质量。