一种可均匀抽气的真空镀膜抽气机构
基本信息
| 申请号 | CN202021972570.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213113496U | 公开（公告）日 | 2021-05-04 |
| 申请公布号 | CN213113496U | 申请公布日 | 2021-05-04 |
| 分类号 | C23C14/56 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 包利荣;余志国 | 申请（专利权）人 | 河源市圣祥光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 河源市华标知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 郝红建;石其飞 |
| 地址 | 517000 广东省河源市高新技术开发区科技十三路河源鑫辉通讯技术有限公司1号厂房三至四层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种可均匀抽气的真空镀膜抽气机构，包括真空腔室、两块过滤网板、两个扩散泵、三通连接管、第一橡胶接头以及真空泵组，所述真空腔室侧端向外延伸有两个真空抽气口，所述真空抽气口内分别设有一过滤网板，两个所述扩散泵的一端分别与一真空抽气口连接，两个扩散泵通过三通连接管与真空泵组连接。本实用新型通过一台真空泵组可对两个真空抽气口进行抽真空处理，有效提高真空腔室的抽真空效率；每一真空抽气口上设有一过滤网板，如此设置，不仅可使真空腔室内的抽气气流更加均匀，还可有效防止真空腔室内的镀膜杂质进入真空泵组，提高设备的运行稳定性；真空室门可在真空腔室的开口内实现推拉闭合，方便用户省力的打开真空室门。 |
