一种真空镀膜机的靶挡板机构
基本信息
| 申请号 | CN202021972575.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213113477U | 公开（公告）日 | 2021-05-04 |
| 申请公布号 | CN213113477U | 申请公布日 | 2021-05-04 |
| 分类号 | C23C14/34 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 包利荣;余志国 | 申请（专利权）人 | 河源市圣祥光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 河源市华标知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 郝红建;石其飞 |
| 地址 | 517000 广东省河源市高新技术开发区科技十三路河源鑫辉通讯技术有限公司1号厂房三至四层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种真空镀膜机的靶挡板机构，包括转架驱动机构、同步传动机构、传动主轴、镀膜转架、挡板动力组件、小齿轮、半圆齿圈、活动轴套、第一扇形板、第二扇形板、弧形挡板及定位轴套，所述转架驱动机构通过同步传动机构与传动主轴底部连接，所述挡板动力组件通过小齿轮与半圆齿圈啮合连接。本实用新型的镀膜转架上可放置待镀膜的工件，当弧形挡板位于镀膜转架上工件的外侧时，可对工件进行遮挡，防止弧源溅射到工件上，待弧源稳定后，通过挡板动力组件带动弧形挡板旋转，以实现对工件的均匀镀膜；挡板动力组件采用齿轮啮合连接的方式带动弧形挡板转动，可提高弧形挡板转动的运行稳定性，避免发生卡住现象，降低设备故障率。 |
