一种真空镀膜机的腔体结构
基本信息
| 申请号 | CN202021972588.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213113488U | 公开（公告）日 | 2021-05-04 |
| 申请公布号 | CN213113488U | 申请公布日 | 2021-05-04 |
| 分类号 | C23C14/50 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 包利荣;余志国 | 申请（专利权）人 | 河源市圣祥光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 河源市华标知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 郝红建;石其飞 |
| 地址 | 517000 广东省河源市高新技术开发区科技十三路河源鑫辉通讯技术有限公司1号厂房三至四层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种真空镀膜机的腔体结构，包括真空腔体本体、推拉门组件、滑动转笼以及电极组件，所述真空腔体本体的任意一侧设有开口，所述推拉门组件设于开口内，滑动转笼设于真空腔体本体内，电极组件设于滑动转笼内，所述滑动转笼包括滑行底架、第一端盖、第二端盖及若干连接横杆，所述滑行底架左右两侧分别设有若干滑轮，真空腔体本体内部左右两侧分别设有一第一滑轨，所述滑行底架的滑轮设于第一滑轨上。本实用新型的滑动转笼可在真空腔体本体内实现滑行移动，当需要对滑动转笼进行维护时，用户可将滑动转笼抽拉至室外进行维护，拆装方便，极大降低维护人员的维护工作量；推拉门组件的设置，可方便用户省力的打开腔体门盖，省力方便。 |
