一种适用于蒸发料粒干燥装置
基本信息
| 申请号 | CN202120362374.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214620400U | 公开（公告）日 | 2021-11-05 |
| 申请公布号 | CN214620400U | 申请公布日 | 2021-11-05 |
| 分类号 | F26B11/04（2006.01）I;F26B21/14（2006.01）I;F26B25/16（2006.01）I;F26B25/00（2006.01）I | 分类 | 干燥; |
| 发明人 | 陈鹏捷;谢坚明 | 申请（专利权）人 | 江苏新顺微电子股份有限公司 |
| 代理机构 | 江阴市轻舟专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 孙燕波 |
| 地址 | 214400江苏省无锡市江阴市高新区长山大道78号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种适用于蒸发料粒干燥装置，属于集成电路或分立器件芯片制造技术领域。包括底座，所述底座上对称设有支架，所述支架之间设有干燥罐，所述干燥罐与支架铰接，所述干燥罐能够在支架上作旋转运动；所述干燥罐上开设加料口，蒸发料粒经所述加料口放于干燥罐内；所述加料口上活动设有密封盖，所述密封盖能够打开加料口或关闭加料口；所述干燥罐上连接气管，使得所述气管内的气体通入干燥罐内。所述干燥罐上设置手柄，转动所述手柄，带动干燥罐转动。本申请不仅结构简单，操作便捷，通过氮气和旋转干燥罐对蒸发料粒进行快速、充分的干燥，提高了干燥效率，而且氮气通入密封干燥罐内，避免了氮气过大而使得蒸发料粒飞滚掉落的发生。 |
