一种适用于非标准尺寸硅片的清洗片架
基本信息
| 申请号 | CN202120204344.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214600919U | 公开（公告）日 | 2021-11-05 |
| 申请公布号 | CN214600919U | 申请公布日 | 2021-11-05 |
| 分类号 | B08B13/00（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L21/673（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 吕伟;陈磊;钱如平 | 申请（专利权）人 | 江苏新顺微电子股份有限公司 |
| 代理机构 | 江阴市轻舟专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 孙燕波 |
| 地址 | 214400江苏省无锡市江阴市高新区长山大道78号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种适用于非标准尺寸硅片的清洗片架，属于半导体清洗技术领域。包括片架本体，所述片架本体设于自动清洗机的标准片架内，所述片架本体与标准片架内腔相匹配，所述片架本体表面开设用于放置非标硅片的置物单元，且所述置物单元上下贯通。所述置物单元分别包括若干均匀间隔设置的卡槽，且相邻所述卡槽之间的间距与标准片架上的置物槽相匹配，所述卡槽的大小与非标硅片相匹配。所述置物单元设有多个，多个所述置物单元并列布置。所述片架本体为特氟龙材质制成件。本申请放于现有自动清洗机的标准片架内，标准片架对片架本体起到支撑作用，使得片架本体卡槽中的非标准尺寸的硅片在自动清洗机内自动清洗，省时省力。 |
