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一种对水路流量实时监测的电极冷却装置

基本信息

申请号 CN202120204355.8 申请日 -
公开（公告）号 CN214592060U 公开（公告）日 2021-11-02
申请公布号 CN214592060U 申请公布日 2021-11-02
分类号 H05B6/54（2006.01）I;H05K7/20（2006.01）I 分类 其他类目不包含的电技术;
发明人 陈礼梅;顾军魏 申请（专利权）人 江苏新顺微电子股份有限公司
代理机构 江阴市轻舟专利代理事务所（普通合伙） 代理人 孙燕波
地址 214400江苏省无锡市江阴市高新区长山大道78号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种对水路流量实时监测的电极冷却装置，属于电极冷却装置技术领域。包括多组水路监测单元，多组所述水路监测单元并列布置，多组所述水路监测单元进口并联后通过出水总管与冷水机出口连通，多组所述水路监测单元出口并联后通过进水总管与冷水机进口连接；所述水路监测单元上分别设置腔体压力传感器，且所述腔体压力传感器分别通过对应的第一连接管与主机连接，所述第一连接管还与水路监测单元连接；所述主机通过信号线与特气柜连接，所述特气柜通过第二连接管与进水总管连通。本申请第一水流量传感器分别对对应的腔体内的水流量进行实时检测，主机终止对应的腔体执行工艺程序，避免了腔体真空异常的情况发生，提高了产品质量。