一种开管扩散炉炉帽提醒装置
基本信息
| 申请号 | CN202120388241.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214620690U | 公开（公告）日 | 2021-11-05 |
| 申请公布号 | CN214620690U | 申请公布日 | 2021-11-05 |
| 分类号 | F27D21/04（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L21/22（2006.01）I | 分类 | 炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉〔4〕; |
| 发明人 | 丁飞;陈建标;杨芳 | 申请（专利权）人 | 江苏新顺微电子股份有限公司 |
| 代理机构 | 江阴市轻舟专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 孙燕波 |
| 地址 | 214400江苏省无锡市江阴市高新区长山大道78号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种开管扩散炉炉帽提醒装置，属于半导体制造技术领域。包括用于放置炉帽的放置台，所述放置台底部设置重力传感器，所述重力传感器与声光报警器信号连接；所述开管扩散炉外侧设有导轨，所述导轨上设置计时传感器和位置传感器，所述位置传感器设于计时传感器外侧；所述导轨上活动设有石英勾，所述石英勾能够向扩散炉靠近而依次触发计时传感器和位置传感器，或向开管扩散炉远离；所述计时传感器和位置传感器与声光报警器信号连接；同时触发所述计时传感器、位置传感器和重力传感器且计时传感器到达计时时间时，满足声光报警器触发条件。本申请不仅能够发出声光报警，提醒作业人员；而且能够暂停工艺作业，避免造成工艺偏差。 |
