一种晶棒样片的自动腐蚀装置
基本信息
| 申请号 | CN202120415219.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214361842U | 公开（公告）日 | 2021-10-08 |
| 申请公布号 | CN214361842U | 申请公布日 | 2021-10-08 |
| 分类号 | C30B33/10（2006.01）I;G01N1/32（2006.01）I;G01N1/34（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 陆海风;柯尊斌;王卿伟 | 申请（专利权）人 | 中锗科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京中律知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 李建芳 |
| 地址 | 211299江苏省南京市溧水开发区中兴东路9号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种晶棒样片的自动腐蚀装置，包括槽体、伸缩式气缸和托盘；槽体为开口向上的桶体结构，槽体内侧中央部分设有竖直设置的管套，管套和槽体侧壁之间形成环形腐蚀液槽；伸缩式气缸包括缸体和伸缩杆；缸体的底部位于管套的底部，缸体的顶部从管套伸出，缸体可相对管套旋转；托盘有镂空结构的三个以上；托盘通过连接杆连接在伸缩杆的顶部；所有托盘均位于环形腐蚀液槽的正上方，在伸缩杆的带动下托盘可降至环形腐蚀液槽内，也可升至环形腐蚀液槽的上方；缸体的底部通过带轮传动驱动旋转、并带动所有托盘旋转。上述实现了腐蚀的自动控制，提高了腐蚀控制的精准性和一致性，提高了腐蚀质量；且可以一次性腐蚀多片晶棒样片，提高了腐蚀效率。 |
