一种自动清洁单晶炉上炉筒内壁的装置
基本信息
| 申请号 | CN202023211388.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213977955U | 公开（公告）日 | 2021-08-17 |
| 申请公布号 | CN213977955U | 申请公布日 | 2021-08-17 |
| 分类号 | C30B15/00 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 房现阁;刘进;柯尊斌;王卿伟 | 申请（专利权）人 | 中锗科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京中律知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 李建芳 |
| 地址 | 211299 江苏省南京市溧水开发区中兴东路9号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种自动清洁单晶炉上炉筒内壁的装置，包括清洁环、粘接带、除尘布贴片、螺纹杆和底座；清洁环为圆环结构，包括内环和外环，内环和外环之间的清洁环上设有沿轴向设置的螺纹通孔；清洁环的螺纹通孔螺纹连接在螺纹杆上；粘接带沿清洁环的外侧壁周边设置，除尘布贴片有两块以上，除尘布贴片分布在粘接带上；螺纹杆的底部垂直连接在底座上，底座上设有驱动螺纹杆转动的电机。本实用新型自动清洁单晶炉上炉筒内壁的装置，通过螺纹杆和上炉筒内壁摩擦的共同作用，可实现清洁环的上下移动，进而实现上炉筒内壁的清洁，且不影响上炉筒内的籽晶绳，安全性好，可控性强，能够自动快速、高效处理单晶炉上炉筒内壁挥发质，节省人力和提高效率。 |
