一种VGF单晶生长中石英管进出炉装置
基本信息
| 申请号 | CN202120513552.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214361824U | 公开（公告）日 | 2021-10-08 |
| 申请公布号 | CN214361824U | 申请公布日 | 2021-10-08 |
| 分类号 | C30B11/00（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 乔印彬;王卿伟 | 申请（专利权）人 | 中锗科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京中律知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 李建芳 |
| 地址 | 211299江苏省南京市溧水开发区中兴东路9号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种VGF单晶生长中石英管进出炉装置，包括气缸、推拉杆、橡胶活塞和橡胶吸盘；气缸为直筒结构，气缸内侧壁为光滑结构，橡胶活塞位于气缸内侧、并将气缸内的横截面完全封堵，推拉杆一端与气缸内侧的橡胶活塞连接、另一端从气缸顶部伸出，在推拉杆的带动下、橡胶活塞可在气缸内侧上下移动；橡胶吸盘为开口向下的喇叭口状，橡胶吸盘顶部对接在气缸底部、且橡胶吸盘内侧与气缸内侧相通。上述装置，采用真空吸附的原理，实现了石英管轻松稳定的移动，且使橡胶吸盘吸紧石英管圆头端，不仅能确保吸附的稳定性，且避开了对石英管口的直接提拉；安全性高，稳定性好；装置结构简单、操作简便，节省了劳动力，提高了工作效率。 |
