一种PVD设备蒸镀检测用导入接头
基本信息
| 申请号 | CN201921958697.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211005606U | 公开（公告）日 | 2020-07-14 |
| 申请公布号 | CN211005606U | 申请公布日 | 2020-07-14 |
| 分类号 | C23C14/54(2006.01)I;C23C14/52(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 钱万勇 | 申请（专利权）人 | 苏州三原流体科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 赵瑞鹏 |
| 地址 | 215151江苏省苏州市高新区浒青路156号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种PVD设备蒸镀检测用导入接头，涉及PVD设备技术领域，包括与PVD设备预留口连接的法兰、与蒸镀检测仪连接的螺母和连接所述法兰和螺母的连接轴，所述连接轴的一端与所述法兰密封连接，另一端与所述螺母密封连接。采用本实用新型提供的导入接头，可以快速实现PVD设备预留孔与蒸镀检测仪之间的连接，从而方便对PVD设备内部的蒸镀数据进行检测和评估，提升PVD设备的检测维度。 |
