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一种薄膜蒸镀设备冷却回路装置

基本信息

申请号 CN201921967482.2 申请日 -
公开（公告）号 CN211005583U 公开（公告）日 2020-07-14
申请公布号 CN211005583U 申请公布日 2020-07-14
分类号 C23C14/24(2006.01)I 分类 -
发明人 钱万勇 申请（专利权）人 苏州三原流体科技有限公司
代理机构 北京联瑞联丰知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 周超
地址 215000江苏省苏州市高新区浒青路156号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种薄膜蒸镀设备冷却回路装置，包括箱体，箱体底部设置有进气口，进气口与薄膜蒸镀设备连接，箱体设置有夹层，夹层内缠绕连接有制冷管，箱体内设置有穿流板，穿流板设置有多个，多个穿流板均与箱体内壁卡扣连接，多个穿流板上均设置有过气孔，过气孔均匀排列在相匹配的穿流板上，箱体顶部与进气口相对应处设置有出气口，出气口上设置有单向气阀，箱体外表面上设置有保温层，保温层与箱体外表面固定连接，箱体一侧设置有空气压缩机，空气压缩机与制冷管连接。本实用新型具有方便对油蒸汽分离出的油进行处理，方便操作的有益效果，其主要用于冷却。