一种PVD薄膜设备加热装置
基本信息
| 申请号 | CN201921967448.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211251024U | 公开（公告）日 | 2020-08-14 |
| 申请公布号 | CN211251024U | 申请公布日 | 2020-08-14 |
| 分类号 | B29C35/02(2006.01)I;B29L7/00(2006.01)N | 分类 | - |
| 发明人 | 钱万勇 | 申请（专利权）人 | 苏州三原流体科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 周超 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市高新区浒青路156号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种PVD薄膜设备加热装置，包括底座，底座内设置有中空槽，底座一侧设置有开口，开口与中空槽连接，开口上设置有加热器，加热器与开口连接处设置有密封隔热板，中空槽内设置有加热管，加热管均匀排列在中空槽内，加热管与加热器连接，加热管与中空槽内壁固定连接，底座内设置有内环绕槽和外环绕槽，内环绕槽位于底座与中空槽之间，内环绕槽内设置有均热层，外环绕槽位于底座与内环绕槽之间，内环绕槽内设置有导热板，底座底面四角边缘处均设置有卡接槽，四角卡接槽上均设置有支撑杆，四角支撑杆底面设置有支撑座。本实用新型具有温度均衡，加热效果好，方便移动的有益效果，其主要用于进行加热。 |
