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一种用于PVD设备的特气导入接头

基本信息

申请号 CN201921958696.3 申请日 -
公开（公告）号 CN211118744U 公开（公告）日 2020-07-28
申请公布号 CN211118744U 申请公布日 2020-07-28
分类号 F17C13/00(2006.01)I 分类 -
发明人 钱万勇 申请（专利权）人 苏州三原流体科技有限公司
代理机构 北京联瑞联丰知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 赵瑞鹏
地址 215151江苏省苏州市高新区浒青路156号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供一种用于PVD设备的特气导入接头，涉及PVD设备技术领域，包括与密闭腔体B预留接口密封连接的第一接头、与密闭腔体A的外壁密封连接的孔法兰和与特殊气体输出端密封连接的第二接头，所述第一接头的右端与所述孔法兰密封连接，所述第二接头的左端与所述孔法兰密封连接，所述第一接头、所述孔法兰和所述第二接头联通形成可通气的通道；采用本实用新型提供的特气导入接头，可以实现在不打开密闭腔体A的情况下，实现对密闭腔体B的特殊气体的更换或填充操作，不仅可大幅提升PVD设备的生产效率，还可有效节约特殊气体资源和能源消耗。