一种用于PVD设备的配管
基本信息
| 申请号 | CN201921973613.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211715943U | 公开（公告）日 | 2020-10-20 |
| 申请公布号 | CN211715943U | 申请公布日 | 2020-10-20 |
| 分类号 | F16L9/00(2006.01)I;F16L23/032(2006.01)I | 分类 | 工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热; |
| 发明人 | 钱万勇 | 申请（专利权）人 | 苏州三原流体科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 赵瑞鹏 |
| 地址 | 215151江苏省苏州市高新区浒青路156号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种用于PVD设备的配管，涉及PVD设备技术领域，包括第一法兰、第二法兰和连接第一法兰和第二法兰的管体，所述第一法兰与所述管体的一端密封连接，所述第二法兰与所述管体的另一端密封连接，所述管体设有45°折弯段。通过将真空环境供应设备的真空传输配管设置45°折弯段，替换原有的90°折弯段，大幅降低了真空传输管道的流体阻力，有效提升了真空环境供应设备的生产效率，降低了PVD设备整体的生产成本。 |
