一种薄膜蒸镀设备载板
基本信息
| 申请号 | CN201921966421.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211036091U | 公开（公告）日 | 2020-07-17 |
| 申请公布号 | CN211036091U | 申请公布日 | 2020-07-17 |
| 分类号 | C23C14/50;C23C14/24 | 分类 | - |
| 发明人 | 钱万勇 | 申请（专利权）人 | 苏州三原流体科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 周超 |
| 地址 | 215000 江苏省苏州市高新区浒青路156号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种薄膜蒸镀设备载板，包括基板，基板内设置有夹层，夹层内设置有真空绝热板，真空绝热板均匀铺设在夹层内且与夹层内壁固定连接，基板内设置有环绕层，环绕层位于基板和夹层之间，环绕层内设置有石墨板，石墨板的外表面与环绕层的内壁固定连接，石墨板与真空绝热板之间设置有通孔，通孔设置有多个，多个通孔之间均设置有间距，多个通孔均呈圆柱形结构设置，且多个通孔直径均相一致，多个通孔的两端均与相对应的石墨板和真空绝热板相连通，与基板相匹配的设置有清理装置，清理装置包括承接板、挡板。本实用新型具有预热能力强，使用完成后方便清理的有益效果，其主要用于薄膜蒸镀。 |
