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利用旋涂法制备薄膜材料的装置

基本信息

申请号 CN201520060152.0 申请日 -
公开（公告）号 CN204544657U 公开（公告）日 2015-08-12
申请公布号 CN204544657U 申请公布日 2015-08-12
分类号 B05C11/08(2006.01)I;B05C5/00(2006.01)I;B05C11/00(2006.01)I 分类 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕;
发明人 胡增鑫 申请（专利权）人 天津森普捷科技有限公司
代理机构 天津市三利专利商标代理有限公司 代理人 天津森普捷科技有限公司
地址 300000 天津市津南区八里台工业园区建设路6号A区252室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种利用旋涂法制备薄膜材料的装置，包括旋转台，设置在旋转台上并可受驱动转动的基片，注射式注胶机构，喷雾式注胶机构，所述的注射式注胶机构包括旋转式第一支臂，设置在第一支臂端部下侧的注射式注胶器，所述的第一支臂可将所述的注射式注胶器定位于或者远离所述的基片的中心；所述的喷雾式注胶机构包括第二支臂，设置在所述的第二支臂端部下侧并位于基板的中心上方的喷雾式注胶器。本实用新型的利用旋涂法制备薄膜材料的装置，结构简单实现便利，可快速在中心注胶和雾化喷涂两种模式间切换，同时，利用喷雾挡板还可有效避免两者之间的相互干扰，提高雾化喷涂时的均匀性，进而提高最终产品质量。