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利用旋涂法制备薄膜材料的方法及装置

基本信息

申请号	CN201510043072.9	申请日	-
公开（公告）号	CN104646248A	公开（公告）日	2015-05-27
申请公布号	CN104646248A	申请公布日	2015-05-27
分类号	B05D1/00(2006.01)I;B05C11/08(2006.01)I;B05C5/00(2006.01)I;B05C11/00(2006.01)I	分类	一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕;
发明人	胡增鑫	申请（专利权）人	天津森普捷科技有限公司
代理机构	天津市三利专利商标代理有限公司	代理人	天津森普捷科技有限公司
地址	300000 天津市津南区八里台工业园区建设路6号A区252室
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种利用旋涂法制备薄膜材料的方法，包括以下步骤：a、将雾化的胶液均匀地喷涂在基片上，然后驱动基片旋转以使基片上的胶液形成膜层，待胶液分布稳定后停止基片的旋转，b、在基片中心处进行注胶，然后驱动基片旋转至中心注胶的胶液均布后停止旋转；其中，所述的步骤a和步骤b为依次进行，或者调换顺序进行，或者交替多次进行。技术效果1)对于较大尺寸以及胶液粘稠度较大的基片旋涂，可提高旋涂薄膜的厚度均匀性；2)多步旋涂可提升旋涂法工艺控制的灵活性和控制精度；3)在传统的注射式旋涂之前增加一步喷涂，可在基片表面形成一层薄的液体膜层，提高注射式旋涂的胶液在基片表面的流动性，降低电机速度要求，提高旋涂效率；4)提高胶液的利用率。