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一种刻蚀工艺的仿真方法及装置

基本信息

申请号 CN202110905274.5 申请日 -
公开（公告）号 CN113343505A 公开（公告）日 2021-09-03
申请公布号 CN113343505A 申请公布日 2021-09-03
分类号 G06F30/20（2020.01）I 分类 计算；推算；计数;
发明人 纪冬梅;薛洁 申请（专利权）人 墨研计算科学（南京）有限公司
代理机构 北京弘权知识产权代理有限公司 代理人 逯长明;许伟群
地址 210000江苏省南京市江北新区星火路9号软件大厦B座407-80室
法律状态 -

摘要

摘要 本申请提供一种刻蚀工艺的仿真方法及装置。所述方法包括：根据待刻蚀对象的第一刻蚀参数以及刻蚀物质的第二刻蚀参数确定刻蚀速率后，再结合预设的刻蚀方式，确定水平单位速度和垂直单位速度，按照该水平单位速度和垂直单位速度，对待刻蚀对象几何剖面结构上的初始刻蚀轮廓进行目标时长的仿真刻蚀，迭代得到刻蚀后的仿真轮廓，如果仿真轮廓与需求轮廓的轮廓差异较大，则重新调整目标时长，再次进行刻蚀仿真。如此，本申请提供的方法可以在电子设备上对待刻蚀对象的整个刻蚀过程剖面的变化进行仿真，可重复性较高，同时也无需在实物上进行真实试验，节约了试验时间，也节约了成本。