一种碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉
基本信息
| 申请号 | CN202021030767.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212770951U | 公开（公告）日 | 2021-03-23 |
| 申请公布号 | CN212770951U | 申请公布日 | 2021-03-23 |
| 分类号 | C23C16/458(2006.01)I;C23C16/32(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 贺鹏博;周帆 | 申请（专利权）人 | 湖南铠欣新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 长沙轩荣专利代理有限公司 | 代理人 | 张勇 |
| 地址 | 413000湖南省益阳市高新区东部产业园标准化厂房E区E1栋北侧一半 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉。碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉，包括：炉体；两个支撑杆，两个所述支撑杆均设于所述炉体内；两个安装板，两个所述安装板固定安装在两个支撑杆的顶端和底端；两个螺纹杆，两个所述螺纹杆均转动安装在两个所述安装板上。本实用新型提供的碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉具有能够对管状基体进行有效的固定同时也能够避免支承装置不与管状基体需要沉积碳化硅涂层的外表面不与接触而完全裸露出来、使碳化硅涂层沉积均匀而不遗漏、提高产品的性能、可使输送的气体原材料能够均匀地分布、提高沉积速率、提高碳化硅涂层的致密性和均匀性、提高产品质量的优点。 |
