一种钟罩式化学气相沉积炉
基本信息
| 申请号 | CN202021338521.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213203187U | 公开（公告）日 | 2021-05-14 |
| 申请公布号 | CN213203187U | 申请公布日 | 2021-05-14 |
| 分类号 | C23C16/44 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 贺鹏博;周帆 | 申请（专利权）人 | 湖南铠欣新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 长沙轩荣专利代理有限公司 | 代理人 | 黄艺平 |
| 地址 | 413000 湖南省益阳市高新区东部产业园标准化厂房E区E1栋北侧一半 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种钟罩式化学气相沉积炉。钟罩式化学气相沉积炉，包括：基座；沉淀炉本体，所述沉淀炉本体设在基座的顶部；四个支杆，四个所述支杆均固定安装在基座的顶部，四个所述支杆呈矩形列阵分布；两个对杆，两个所述对杆分别转动安装在四个所述支杆之间；四个圆盘，四个所述圆盘分别固定套设在两个所述对杆上；四个接杆，四个所述接杆分别固定安装在对应的所述圆盘上；四个压杆，四个所述压杆分别焊接在对应的所述接杆上，四个所述压杆均与沉淀炉本体相接触。本实用新型提供的钟罩式化学气相沉积炉具有使用方便、便有将沉淀炉本体压牢、保证沉淀炉整体的密闭性的优点。 |
