一种化学气相沉积炉尾气处理装置
基本信息
| 申请号 | CN202021006547.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214345110U | 公开（公告）日 | 2021-10-08 |
| 申请公布号 | CN214345110U | 申请公布日 | 2021-10-08 |
| 分类号 | B01D46/10（2006.01）I;B01D46/00（2006.01）I;C23C16/44（2006.01）I | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 贺鹏博;周帆 | 申请（专利权）人 | 湖南铠欣新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 长沙轩荣专利代理有限公司 | 代理人 | 张勇 |
| 地址 | 413000湖南省益阳市高新区东部产业园标准化厂房E区E1栋北侧一半 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种化学气相沉积炉尾气处理装置。化学气相沉积炉尾气处理装置，包括：化学气相沉积炉炉体；尾气管道，所述尾气管道设置在所述化学气相沉积炉炉体的一侧；加热机构，所述加热机构设置在所述尾气管道上。本实用新型提供的化学气相沉积炉尾气处理装置具有可以对尾气管道进行加热，进而减少废气中物体的凝结，提高管道的使用效果的优点。 |
