一种化学气相沉积炉的辅助进气装置
基本信息
| 申请号 | CN202021030735.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212770948U | 公开（公告）日 | 2021-03-23 |
| 申请公布号 | CN212770948U | 申请公布日 | 2021-03-23 |
| 分类号 | C23C16/455(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 贺鹏博;周帆 | 申请（专利权）人 | 湖南铠欣新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 长沙轩荣专利代理有限公司 | 代理人 | 张勇 |
| 地址 | 413000湖南省益阳市高新区东部产业园标准化厂房E区E1栋北侧一半 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种化学气相沉积炉的辅助进气装置。化学气相沉积炉的辅助进气装置，包括：炉体本体；抽气泵，所述抽气泵设置在所述炉体本体的一侧；混气机构，所述混气机构设置在所述抽气泵的一侧；第二连接管，所述第二连接管设置在所述炉体本体和所述抽气泵之间；加热底座，所述加热底座设置在所述炉体本体的底部内壁上；真空泵，所述真空泵设置在所述炉体本体的顶部；放置平台，所述放置平台固定安装在所述炉体本体的一侧。本实用新型提供的化学气相沉积炉的辅助进气装置具有可以对气体进行混合，且混合效果好，进而提高反应效果的优点。 |
