一种用于化学气相沉积炉的活接头导气工装
基本信息
| 申请号 | CN202021346105.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212776068U | 公开（公告）日 | 2021-03-23 |
| 申请公布号 | CN212776068U | 申请公布日 | 2021-03-23 |
| 分类号 | F16L19/03(2006.01)I;F16L19/065(2006.01)I;F16L19/07(2006.01)I | 分类 | 工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热; |
| 发明人 | 贺鹏博;周帆 | 申请（专利权）人 | 湖南铠欣新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 长沙轩荣专利代理有限公司 | 代理人 | 黄艺平 |
| 地址 | 413000湖南省益阳市高新区东部产业园标准化厂房E区E1栋北侧一半 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种用于化学气相沉积炉的活接头导气工装。用于化学气相沉积炉的活接头导气工装，包括：第一连接管；外丝管，所示外丝管固定套设在所示第一连接管上；第一螺母，所示第一螺母固定套设在所示第一连接管上，所述第一螺母与所述外丝管固定连接；楔形管，所述楔形管固定套设在所述第一连接管上；第二连接管，所述第二连接管设于所述第一连接管的一端；内丝块，所述内丝块滑动安装在所述第二连接管上。本实用新型提供的用于化学气相沉积炉的活接头导气工装具有对活接头的导气起到双重密封作用、降低密封圈更换频率、避免因沉积炉震动导致活接头锁紧螺母松动而造成气体泄漏的优点。 |
