一种化学气相沉积炉的粉尘收集装置
基本信息
| 申请号 | CN202021013623.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213193032U | 公开（公告）日 | 2021-05-14 |
| 申请公布号 | CN213193032U | 申请公布日 | 2021-05-14 |
| 分类号 | B01D50/00;C23C16/00 | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 贺鹏博;周帆 | 申请（专利权）人 | 湖南铠欣新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 长沙轩荣专利代理有限公司 | 代理人 | 张勇 |
| 地址 | 413000 湖南省益阳市高新区东部产业园标准化厂房E区E1栋北侧一半 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种化学气相沉积炉的粉尘收集装置。化学气相沉积炉的粉尘收集装置，包括：沉积炉本体；连接管，所述连接管固定安装在所述沉积炉本体的顶部；收集箱，所述收集箱设于所述沉积炉本体的一侧，所述连接管远离所述沉积炉本体的一端延伸至所述收集箱内。本实用新型提供的化学气相沉积炉的粉尘收集装置通过设置第一滤布，能够将粉尘阻挡在收集箱内，设置多个清理丝，能够使得第一滤布能够保持良好的通透性，从而避免较多的粉尘附着在第一滤布上；设置第二滤布，能够使风机在关闭的情况下，粉尘回流到沉积炉本体内；设置V形板，使得进入收集箱内的粉尘大部分被阻挡在V形板的下方，更有利于粉尘的沉降。 |
