一种化学气相沉淀的基体支撑旋转装置
基本信息
| 申请号 | CN202021030481.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213203195U | 公开（公告）日 | 2021-05-14 |
| 申请公布号 | CN213203195U | 申请公布日 | 2021-05-14 |
| 分类号 | C23C16/458 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 贺鹏博;周帆 | 申请（专利权）人 | 湖南铠欣新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 长沙轩荣专利代理有限公司 | 代理人 | 张勇 |
| 地址 | 413000 湖南省益阳市高新区东部产业园标准化厂房E区E1栋北侧一半 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种化学气相沉淀的基体支撑旋转装置。所述化学气相沉淀的基体支撑旋转装置包括：底座；腔体，所述腔体开设在底座上；安装槽，所述安装槽开设在腔体的一侧内壁上；电机，所述电机固定安装在安装槽的底部内壁上，所述电机的输出轴延伸至腔体内；第一锥形齿轮，所述第一锥形齿轮固定安装在电机的输出轴上；内螺纹管，所述内螺纹管转动安装在腔体内；第二锥形齿轮，所述第二锥形齿轮固定套设在内螺纹管上，所述第一锥形齿轮与第二锥形齿轮啮合；空心管，所述空心管固定安装在底座的顶部；螺杆，所述螺杆螺纹安装在内螺纹管内。本实用新型提供的化学气相沉淀的基体支撑旋转装置具有使用方便，可以自动进行封盖的优点。 |
