一种化学气相沉积炉进气分布装置
基本信息
| 申请号 | CN202021357059.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212770949U | 公开（公告）日 | 2021-03-23 |
| 申请公布号 | CN212770949U | 申请公布日 | 2021-03-23 |
| 分类号 | C23C16/455(2006.01)I;B01D46/12(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 贺鹏博;周帆 | 申请（专利权）人 | 湖南铠欣新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 长沙轩荣专利代理有限公司 | 代理人 | 黄艺平 |
| 地址 | 413000湖南省益阳市高新区东部产业园标准化厂房E区E1栋北侧一半 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种化学气相沉积炉进气分布装置。所述化学气相沉积炉进气分布装置包括：气相沉积炉进气分布设备本体；气相沉积炉体，所述气相沉积炉体包含在气相沉积炉进气分布设备本体内；排气孔，所述排气孔开设在气相沉积炉体的顶部；环形连接板，所述环形连接板固定安装在气相沉积炉体的顶部；导流管一，所述导流管一固定安装在环形连接板上；方形收纳箱，所述方形收纳箱设置在气相沉积炉体的一侧，所述方形收纳箱的顶部设有开口。本实用新型提供的化学气相沉积炉进气分布装置具有使用方便，能够简单有效的对排出的空气进行四级过滤，避免污染资源，操作起来简单便捷的优点。 |
