一种立式化学气相沉积炉炉底加热装置
基本信息
| 申请号 | CN202021346196.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212770955U | 公开（公告）日 | 2021-03-23 |
| 申请公布号 | CN212770955U | 申请公布日 | 2021-03-23 |
| 分类号 | C23C16/46(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 贺鹏博;周帆 | 申请（专利权）人 | 湖南铠欣新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 长沙轩荣专利代理有限公司 | 代理人 | 黄艺平 |
| 地址 | 413000湖南省益阳市高新区东部产业园标准化厂房E区E1栋北侧一半 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种立式化学气相沉积炉炉底加热装置。立式化学气相沉积炉炉底加热装置，包括：炉体；空腔，所述空腔开设在所述炉体上；加热机构，所述加热机构设置在所述炉体的内部；两个导气管，两个所述导气管均设置在所述炉体的顶部。本实用新型提供的立式化学气相沉积炉炉底加热装置具有可以对材料进行快速方便的加热，且取料方便，加热效果好，热量不易散出，且冷却速度快的优点。 |
