镀膜装置
基本信息
| 申请号 | CN201920707833.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210012890U | 公开（公告）日 | 2020-02-04 |
| 申请公布号 | CN210012890U | 申请公布日 | 2020-02-04 |
| 分类号 | C23C14/12;C23C14/56 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 云洋 | 申请（专利权）人 | 深圳奥拦科技有限责任公司 |
| 代理机构 | 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人 | 深圳奥拦科技有限责任公司 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市前海深港合作区前湾一路1号A栋201室(入驻深圳市前海商务秘书有限公司) | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种镀膜装置，包括镀膜室、泵、连接镀膜室和泵的管道，以及至少两个制冷单元。镀膜室用于容置工件和镀膜气体，以使镀膜气体在镀膜室内聚合于工件表面；泵用于抽真空以达到镀膜所需的真空度并在镀膜过程中对镀膜室提供吸力，以使镀膜气体进入和排出镀膜室；至少两个制冷单元沿着气体的输送方向依次设于管道上，泵从镀膜室抽取的气体依次经过每个制冷单元。通过设置沿着气流方向串联的至少两个制冷单元，即通过双重吸收沉降的方式对气流中的派瑞林单聚体进行凝结，在后的制冷单元用于保证气流中的派瑞林单聚体被完全凝结，从而保证气流中不会有派瑞林单聚体进入泵，防止泵被损坏。 |
