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镀膜方法及镀膜件

基本信息

申请号	CN202010099554.7	申请日	-
公开（公告）号	CN111321583A	公开（公告）日	2020-06-23
申请公布号	CN111321583A	申请公布日	2020-06-23
分类号	D06M10/02(2006.01)I	分类	-
发明人	苏建华;云洋	申请（专利权）人	深圳奥拦科技有限责任公司
代理机构	广州华进联合专利商标代理有限公司	代理人	深圳奥拦科技有限责任公司;利亚德光电股份有限公司
地址	518101广东省深圳市宝安区西乡街道龙珠社区润东晟工业园11栋1层B
法律状态	-

摘要

本发明涉及一种镀膜方法。包括以下步骤：步骤S100、将基体置于镀膜室内，基体由具有透气孔的透气材料制成；步骤S200、对所述镀膜室抽真空使压强降低到15pa以下；步骤S300、向所述镀膜室通入工艺气体，并保持压强为10pa～50pa；步骤S400、在所述镀膜室内施加射频交流电，并保持一段时间；步骤S500、关闭所述射频交流电、停止通入所述工艺气体，并对所述镀膜室抽真空使压强降低至15pa以下；步骤S600、向所述镀膜室通入空气使压强大于或等于1个大气压，取出表面形成有疏水层的所述基体。一种镀膜件，包括：基体，基体为具有透气孔的透气材料制成；以及疏水层，至少附着于所述基体的一个表面，疏水层由四氟甲烷、六氟丙烯、八氟环丁烷和对二甲苯的一种或多种制成。