PCBA板表面派瑞林膜层的除去方法
基本信息
| 申请号 | CN202110632351.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113365433A | 公开（公告）日 | 2021-09-07 |
| 申请公布号 | CN113365433A | 申请公布日 | 2021-09-07 |
| 分类号 | H05K3/22 | 分类 | 其他类目不包含的电技术; |
| 发明人 | 吕勇;云洋 | 申请（专利权）人 | 深圳奥拦科技有限责任公司 |
| 代理机构 | 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人 | 李美 |
| 地址 | 518101 广东省深圳市宝安区西乡街道龙腾社区润东晟工业区12栋4层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种PCBA板表面派瑞林膜层的除去方法。上述PCBA板表面派瑞林膜层的除去方法包括如下步骤：提供PCBA板，PCBA板表面设有派瑞林膜层，派瑞林膜层具有预设的待除去区；在PCBA板上罩设遮蔽罩，遮蔽罩设有通孔，通孔的位置与待除去区的位置相对应；对派瑞林膜层进行等离子蚀刻，在蚀刻过程中，不添加偏压电源和电感，控制蚀刻过程中的含氟气体与氧气的流量比为（0.3～0.5）:1，射频功率为450W～1000W。上述派瑞林膜层的蚀刻方法，通过提高射频功率，同时调整CF4与O2之间的流量比，在不需要偏压电源和电感的条件下实现了派瑞林膜层的快速蚀刻，同时降低了生产成本。 |
