三氯氢硅尾气变压吸附装置
基本信息
| 申请号 | CN201020701275.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN201949776U | 公开（公告）日 | 2011-08-31 |
| 申请公布号 | CN201949776U | 申请公布日 | 2011-08-31 |
| 分类号 | B01D53/053(2006.01)I;C01B3/50(2006.01)I | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 宋宜华 | 申请（专利权）人 | 淄博宝运化工厂 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 255000 山东省淄博市高新区新华工业园东区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种三氯氢硅生产装置，具体是一种三氯氢硅尾气变压吸附装置，其特征是，包括多个并联的变压吸附塔分别与氢气缓冲罐连接，每个吸附塔均连接有再生气加热器。本实用新型能够吸收三氯氢硅尾气中的氯硅烷，经过本实用新型处理后，尾气中氢气含量可达到99.99％，经济效益好。 |
