三氯氢硅尾气回收装置
基本信息
| 申请号 | CN201020701284.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN201949786U | 公开（公告）日 | 2011-08-31 |
| 申请公布号 | CN201949786U | 申请公布日 | 2011-08-31 |
| 分类号 | B01D53/18(2006.01)I;B01D53/047(2006.01)I;C01B7/01(2006.01)I;C01B3/50(2006.01)I | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 宋宜华 | 申请（专利权）人 | 淄博宝运化工厂 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 255000 山东省淄博市高新区新华工业园东区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种三氯氢硅生产装置，具体是一种三氯氢硅尾气回收装置，其特征是，包括采用气体管路依次连接的吸收塔、原料气换热器、变压吸附装置，原料气换热器与吸收塔还采用原料气管路连接；吸收塔采用液体管路依次连接吸附剂热交换器、脱洗塔，脱洗塔吸收塔还通过吸附剂管路连接。本实用新型尾气处理彻底，可获得99.99％的氢气和工业用HCI，经济效益显著，且不排放废气、废液。 |
