三氯氢硅尾气处理的热量回收设备系统

基本信息

申请号 CN201020701283.X 申请日 -
公开(公告)号 CN201949785U 公开(公告)日 2011-08-31
申请公布号 CN201949785U 申请公布日 2011-08-31
分类号 B01D53/18(2006.01)I 分类 一般的物理或化学的方法或装置;
发明人 宋宜华 申请(专利权)人 淄博宝运化工厂
代理机构 - 代理人 -
地址 255000 山东省淄博市高新区新华工业园东区
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种三氯氢硅生产装置,具体是一种三氯氢硅尾气处理的热量回收设备系统,包括吸收塔,尾气管路通过尾气换热器后气相连接吸收塔下部,吸收塔顶部出气管路连接尾气换热器;吸收塔下部液相连接吸收剂热交换器。本实用新型能够充分利用尾气处理过程中的热量,节约能源。