减小霍尔集成电路失调电压方法及其装置
基本信息
申请号 | CN200710039676.1 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN101290946B | 公开(公告)日 | 2011-12-28 |
申请公布号 | CN101290946B | 申请公布日 | 2011-12-28 |
分类号 | H01L27/22(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 管慧;陈俊 | 申请(专利权)人 | 无锡博赛半导体技术有限公司 |
代理机构 | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 | 代理人 | 无锡博赛半导体技术有限公司 |
地址 | 214028 无锡市新区长江路21-1号创源大厦406室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 一种减小霍尔集成电路失调电压方法,是将霍尔单元阵列位于芯片中心部分,其他为霍尔单元服务的电路器件置于霍尔单元阵列的周围,并将霍尔单元并联联接,每个霍尔单元周边被重掺杂所形成的隔离带和外延层所包围。所涉及的装置包括一半导体P型基层衬底,以及在半导体P型基层衬底上生长轻掺杂的半导体N型外延层。在半导体N型外延层上还置有被重掺杂的半导体P型隔离带,该隔离带将半导体N型外延层分割成至少三块孤立的霍尔单元,且霍尔单元呈中心对称排列的阵列。本发明可使得霍尔器件受芯片边缘的应力和压力等的影响趋于一致,使得霍尔单元失调电压受霍尔单元周围的其它器件影响更小,并使霍尔单元受制造工艺的偏差影响趋于一致,匹配性更好。 |
