减小霍尔集成电路失调电压方法及其装置

基本信息

申请号 CN200710039676.1 申请日 -
公开(公告)号 CN101290946A 公开(公告)日 2008-10-22
申请公布号 CN101290946A 申请公布日 2008-10-22
分类号 H01L27/22(2006.01) 分类 基本电气元件;
发明人 管慧;陈俊 申请(专利权)人 无锡博赛半导体技术有限公司
代理机构 上海东方易知识产权事务所 代理人 沈原
地址 201108上海市闵行区光华路728号4幢2楼28室
法律状态 -

摘要

摘要 一种减小霍尔集成电路失调电压方法,是将霍尔单元阵列位于芯片中心部分,其他为霍尔单元服务的电路器件置于霍尔单元阵列的周围,并将霍尔单元并联联接,每个霍尔单元周边被重掺杂所形成的隔离带和外延层所包围。所涉及的装置包括一半导体P型基层衬底,以及在半导体P型基层衬底上生长轻掺杂的半导体N型外延层。在半导体N型外延层上还置有被重掺杂的半导体P型隔离带,该隔离带将半导体N型外延层分割成至少三块孤立的霍尔单元,且霍尔单元呈中心对称排列的阵列。本发明可使得霍尔器件受芯片边缘的应力和压力等的影响趋于一致,使得霍尔单元失调电压受霍尔单元周围的其它器件影响更小,并使霍尔单元受制造工艺的偏差影响趋于一致,匹配性更好。