VCSEL及控制VCSEL发光方向的方法

基本信息

申请号 CN202111123506.8 申请日 -
公开(公告)号 CN113809639A 公开(公告)日 2021-12-17
申请公布号 CN113809639A 申请公布日 2021-12-17
分类号 H01S5/183(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 潘德烈 申请(专利权)人 深圳市嘉敏利光电有限公司
代理机构 深圳市道勤知酷知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 何兵;吕诗
地址 518000广东省深圳市福田区福保街道福保社区红柳道2号顺丰工业厂房1层B125
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种VCSEL及控制VCSEL发光方向的方法,该VCSEL包括依次层叠的一次蚀刻台面、二次蚀刻台面和三次蚀刻台面,其中,所述一次蚀刻台面内设有氧化孔,在所述氧化孔的光窗平台上设有微透镜,当所述微透镜的焦点与所述光窗平台的中心轴之间的距离大于0,使出射光偏向所述微透镜的焦点相对于所述光窗平台的中心轴的一侧。