一种VCSEL芯片及其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN202110417851.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113241582A | 公开（公告）日 | 2021-08-10 |
| 申请公布号 | CN113241582A | 申请公布日 | 2021-08-10 |
| 分类号 | H01S5/042;H01S5/183;H01S5/187;H01S5/34 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 方照诒;李承远 | 申请（专利权）人 | 深圳市嘉敏利光电有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市道勤知酷知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 何兵;吕诗 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市福田区福保街道福保社区红柳道2号顺丰工业厂房1层B125 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种VCSEL芯片及其制造方法，利用透明导电材料平铺在整个光窗平台上表面形成抗反射透明导电层，达到全面接触的效果，再镀上所需的金属电极，达到降低接触电阻的目的，从而提供更好的光学性质，降低高频阻抗，提升高频特性，减少热效应，并增加可靠度。 |
