一种具有嵌入式磁源的MEMS陀螺仪
基本信息
| 申请号 | CN201910157476.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109737944A | 公开（公告）日 | 2019-05-10 |
| 申请公布号 | CN109737944A | 申请公布日 | 2019-05-10 |
| 分类号 | G01C19/5755（2012.01）I; G01C19/5733（2012.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 张彪; 李晓宇 | 申请（专利权）人 | 成都因赛泰科技有限责任公司 |
| 代理机构 | 成都金英专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 成都因赛泰科技有限责任公司 |
| 地址 | 610000 四川省成都市高新区科园南路88号12幢1层103号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种具有嵌入式磁源的MEMS陀螺仪，包括质量块、驱动单元和检测单元，所述驱动单元位于质量块的X方向，所述检测单元包括蓄热器、导线和磁传感器，所述质量块位于衬底上方，所述蓄热器安装在质量块上且位于质量块底部，所述导线安装在蓄热器内，所述磁传感器安装在衬底上且位于衬底上端。本发明的有益效果是：通过磁传感器检测质量块在Y方向的位移，测量准确，提高了角速度的精确性；蓄热器隔绝了通电导线产生的焦耳热，避免了质量块的形变、温漂及噪声。 |
