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一种微机电陀螺仪

基本信息

申请号 CN201910157140.2 申请日 -
公开（公告）号 CN109696163A 公开（公告）日 2019-04-30
申请公布号 CN109696163A 申请公布日 2019-04-30
分类号 G01C19/56（2012.01）I 分类 测量；测试;
发明人 张彪; 王志灵 申请（专利权）人 成都因赛泰科技有限责任公司
代理机构 成都睿道专利代理事务所（普通合伙） 代理人 成都因赛泰科技有限责任公司
地址 610041 四川省成都市高新区科园南路88号12幢1层103号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种微机电陀螺仪，包括基底层、检测质量块层和包覆层，基底层包括基底，检测质量块层包括检测质量块、可形变梁和柱，检测质量块通过可形变梁和柱悬浮在基底上方，包覆层包括覆盖层，检测质量块设置在腔室内，腔室包括第一腔室和第二腔室，检测质量块与基底之间为第一腔室，检测质量块与覆盖层之间为第二腔室，第一腔室与第二腔室连通，第一腔室与第二腔室内的气压低于大气压。该陀螺仪检测质量块设置在腔室内，腔室包括第一腔室和第二腔室，第一腔室与第二腔室内的气压低于大气压，陀螺仪检测质量块在检测角速度时，振动是阻力系数较小，使得品质因子提高，检测质量块在振动过程中损耗的振动能量较少，陀螺仪测量结果更精准。