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一种用于芯片制造的打磨装置

基本信息

申请号 CN202022582495.7 申请日 -
公开（公告）号 CN213917396U 公开（公告）日 2021-08-10
申请公布号 CN213917396U 申请公布日 2021-08-10
分类号 B24B7/16（2006.01）I;B24B7/22（2006.01）I;B24B41/06（2012.01）I;B24B55/06（2006.01）I;B24B55/12（2006.01）I;B24B55/00（2006.01）I 分类 磨削；抛光;
发明人 王飞;罗志云;潘梦瑜 申请（专利权）人 恒泰柯半导体（上海）有限公司
代理机构 上海宏京知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 周高
地址 201203上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区盛夏路560号902C-7室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种用于芯片制造的打磨装置，包括底座，所述底座的上端固定连接有支架，所述支架内的顶部安装有伸缩气缸，所述伸缩气缸的输出端固定连接有横板，所述横板的底部连接有安装座，所述安装座的前端面上安装有打磨机主体，所述底座的上端固定安装有定位夹具台，所述打磨机主体位于定位夹具台的上方，所述定位夹具台的一侧设有固定板，所述固定板上贯穿设有吸尘管，所述吸尘管的一端朝向定位夹具台的上表面，所述吸尘管的另一端与气泵的输入端相连通，所述气泵的输出端通过管道与集尘箱连通。本实用新型采用自动化控制，操作简单，运行稳定，有效提高了打磨效率和打磨质量。